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主要业务

我们将持续提高技术水平
为客户提供更完美的解决方案

喷涂

显示及半导体领域的等离子喷涂等设备

显示与半导体领域

通过对半导体、OLED、太阳能电池工艺中在等离子体的零部件上做涂层来稳定粒子、延长零部件使用寿命等,提高投入产出率和生产力。 氧化钇(Y2O3)等形成高密封层的优点

High dense film formation

形成高密封层
氧化钇(Y2O3), 氧化铝(Al2O3), 钇铝石榴石(YAG), 氟氧化钇(YOF)

本公司使用多重电极等离子精细的涂层氧化钇,
通过卤族元素等离子环境的蚀刻抵抗性,使检修时间增加及干燥机内颗粒达到最小化,实现高质量生产。
  • 使用高纯度喷塑粉末的涂层

  • 延长PM周期

    通过延长零部件的寿命,提高成本竞争力
  • 电压供应稳定化

  • 也可适用于已有的APS涂层

  • 提高产出率

    通过改善生成产出率,改善不合格率
  • 通过多重电极的稳定输出和逆变器整流方式,供应稳定的电压

  • 拥有细微喷塑粉末流动化技术专利

  • SW-YT35
    SW-YT25
    SW-YT15

Diagram

Parts List

  • TOP PROTECTOR_1/2/3/4
  • CLEANKIT_A/B
  • CLEANKIT_SUPPORT LINER CENTER_L/R
  • CLEANKIT_SUPPORT MIDDL CENTER_L/R
  • CLEANKIT_SUPPORT BLOCK A/B/C/D
  • CERAMIC CAP
  • CERAMIC CAP_S/L